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アイテム
F-3 Si 基板上に成膜した PZT 系強誘電体キャパシタの電気特性に及ぼす (Ti, Al)N を含む電極構造の影響(F. 環境にやさしい有機材料設計のための劣化の制御に関する研究)
http://hdl.handle.net/10487/1264
http://hdl.handle.net/10487/12640946b224-1990-4a62-abdf-ffd36c15dad7
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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kana-1-6-0019.pdf (667.2 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2009-02-23 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | F-3 Si 基板上に成膜した PZT 系強誘電体キャパシタの電気特性に及ぼす (Ti, Al)N を含む電極構造の影響(F. 環境にやさしい有機材料設計のための劣化の制御に関する研究) | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
土井, 英和
× 土井, 英和× 小川, 和則× Doi, Hidekazu× Ogawa, Kazunori |
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| 書誌情報 |
年報 巻 '99, p. 93-94, 発行日 2000-03 |
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| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA11822302 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 神奈川大学 | |||||
