@article{oai:kanagawa-u.repo.nii.ac.jp:00007389, author = {土井, 英和 and 小川, 和則 and Doi, Hidekazu and Ogawa, Kazunori}, journal = {年報}, month = {Mar}, pages = {93--94}, title = {F-3 Si 基板上に成膜した PZT 系強誘電体キャパシタの電気特性に及ぼす (Ti, Al)N を含む電極構造の影響(F. 環境にやさしい有機材料設計のための劣化の制御に関する研究)}, volume = {'99}, year = {2000} }