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高品質ダイヤモンド薄膜の形成と評価の研究(2005年度神奈川大学総合理学研究所協同研究助成論文)
http://hdl.handle.net/10487/1453
http://hdl.handle.net/10487/14537264391d-2e53-4053-8d1f-4918cb5fa3de
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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SJKU Vol 17 63-75.pdf (1.7 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2009-02-23 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 高品質ダイヤモンド薄膜の形成と評価の研究(2005年度神奈川大学総合理学研究所協同研究助成論文) | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | microwave-plasma | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | CVD | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | diamond | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | epitaxial layerx | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | epitaxial layer | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Hall-effect | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | AFM | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | SIMS | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
中田, 穣治
× 中田, 穣治× 斎藤, 保直× 川崎, 克則× 服部, 俊幸× Nakata, Jyoji× Saito, Yasunao× Kawasaki, Katsunori× Hattori, Toshiyuki |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | We have developed a microwave-plasma CVD apparatus for depositing epitaxial diamond layers on the diamond substrates. We used Ib-type substrates and succeeded in depositing high-quality diamond epitaxial layers on these substrates, confirmed by measuring Raman shift spectra and the electrical characteristics of CVD layers using a Hall effect measuring instrument. However, the surface morphology of the deposited layers is not so good, as ascertained by Atomic Force Microprobe. We also measured impurity profiles in the CVD layers, using Secondary Ion Mass Spectroscopy. Moreover, we found an abrupt concentration difference of N impurity at the interface between the deposited layer and the substrate, showing that the concentration of N impurity is lower in the CVD layer than in the substrate. | |||||
| 書誌情報 |
Science Journal of Kanagawa University 巻 17, p. 63-75, 発行日 2006-05-25 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 1880-0483 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA12068302 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| その他の言語のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Research for Formation of High-Quality Diamond Epitaxial Thin Layers on the Diamond Substrates and Evaluation of These Layers | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 神奈川大学 | |||||
