WEKO3
アイテム
ダイヤモンド工具による単結晶SiCのUVレーザ援用微細切削加工に関する研究
https://doi.org/10.24792/0002001585
https://doi.org/10.24792/0002001585c2fbbc96-b281-4986-bdeb-8fa81e4c9211
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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20 ダイヤモンド工具による単結晶SiCのUVレーザ援用微細切削加工に関する研究.pdf (1.3 MB)
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| アイテムタイプ | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||
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| 公開日 | 2025-06-05 | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | ダイヤモンド工具による単結晶SiCのUVレーザ援用微細切削加工に関する研究 | |||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | Study on micro machining of monocrystalline SiC using diamond tool assisted by UV laser | |||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||
| ID登録 | ||||||||||||||||||
| ID登録 | 10.24792/0002001585 | |||||||||||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||||||||||
| 著者 |
由井, 明紀
× 由井, 明紀× 中尾, 陽一× 鈴木, 浩文
× 滝田, 好宏
× 太田, 稔
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| 引用 | ||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||
| 内容記述 | 工学研究所プロジェクト研究 | |||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| 書誌情報 |
ja : 神奈川大学工学研究 en : Technology reports, Kanagawa University 巻 8, p. 53-54, 発行日 2025-03-17 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 2433-5169 | |||||||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA12816225 | |||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||
| 出版者 | 神奈川大学工学研究所 | |||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||
| 出版者 | RESEARCH INSTITUTE FOR ENGINEERING, KANAGAWAUNIVERSITY | |||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
