@article{oai:kanagawa-u.repo.nii.ac.jp:00015202, author = {由井, 明紀}, issue = {5}, journal = {神奈川大学工学研究, Technology reports, Kanagawa University}, month = {Mar}, pages = {60--64}, title = {単結晶ダイヤモンド工具による硬脆材料のUVレーザ援用微細加工}, year = {2022} }