@article{oai:kanagawa-u.repo.nii.ac.jp:00015128,
 author = {渡邉, 騎通 and 中山, 明芳},
 issue = {4},
 journal = {神奈川大学工学研究, Technology reports, Kanagawa University},
 month = {Mar},
 note = {工学部重要機器整備費関連研究},
 pages = {62--63},
 title = {スパッタリング法による磁性薄膜の作製とその応用},
 year = {2021}
}